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特氣柜
產(chǎn)品描述
特氣柜(Gas Cabinet)主要應(yīng)用于:半導(dǎo)體,太陽(yáng)能電池,微電子等需要超純潔凈氣體的行業(yè)。根據(jù)生產(chǎn)的需要,有普通的Gas cabinet和BSGS等大流量的氣體供應(yīng)氣柜。